Laserinterferometer für Kalibrierungen

Unsere Mess-und Kalibriersysteme SP 15000 C5 erfassen Positionen, Winkel und Geradheiten einer Bewegung. Alle Messgrößen werden hochgenau laserinterferometrisch bestimmt, wobei in allen drei Längenmesskanälen die gleiche hochstabile Laserfrequenz genutzt wird.

Die Postionsmessung ist über einen Bereich bis 50 m mit einer Genauigkeit von unter 0,12 Mikrometern möglich. Die gleichzeitige Messung der Nick- und Gierwinkel erfolgt bis +/- 5 grad. Auch die Geradheit ist im gleichen Messzyklus sehr genau über einen Bereich von 6,5 m messbar. Die Umschaltung zwischen horizontaler und vertikaler Geradheit ist sehr einfach möglich.

Bei der kompakten Geradheitsoption ist der Geradheitsspiegel direkt am Sensorkopf angebracht. Somit müssen nur noch zwei Komponenten aufgebaut und zueinander ausgerichtet werden. Auch bei beengten Platzverhältnissen, speziell in Werkzeugmaschinen kann das Messsystem nun schnell und zuverlässig installiert werden. Durch eine Strahlumlenkung können auch Messungen in vertikaler Richtung durchgeführt werden.


Die Lichtwellenleiterkopplung des Sensorkopfes und die integrierte Strahlrichtungsdetektion unterstützen die einfache Handhabung und Justage. Der Mess- und Kalibriervorgang kann mit einer Positioniersteuerung synchronisiert werden. Umfangreiche Möglichkeiten zur galvanisch getrennten Triggerung des Systems erlauben eine Steuerung der Messwertaufnahme.

Dadurch erfüllen die Messsysteme bestens die Ansprüche von Maschinen und Geräteherstellern.

Über die SIOS Meßtechnik GmbH

Die SIOS Meßtechnik GmbH wurde 1991 gegründet und stellt laserinterferometrische Präzisionsmesssysteme für die Nanometrologie her. Die Messung von Längen, Winkeln, Schwingungen und weiteren Größen erfolgt mit höchster Auflösung und Präzision in Verbindung mit vorteilhaften Anwendereigenschaften. Die flexible Struktur der Firma ermöglicht es, die zu fertigenden Geräte individuell auf spezielle Kundenwünsche und Einsatzbedingungen anzupassen.

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