FRT GmbH und Fraunhofer ENAS stellen gemeinsam ein Oberflächenmessgerät mit Thermoeinheit für die Charakterisierung lateraler und vertikaler Probenverformungen im Nanometerbereich vor

Auf der SENSOR+TEST 2018 in Nürnberg stellt das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS vom 26. bis 28. Juni 2018 am Gemeinschaftsstand der Fraunhofer-Gesellschaft (Nr. 5-248) in Halle 5 zusammen mit den Projektpartnern Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH und FRT GmbH das optische Oberflächenmessgerät MicroProf® TL vor.

Der MicroProf® TL ist ein optisches Oberflächenmessgerät für die vollautomatische 3D-Oberflächenmessung in einer Vielzahl von Anwendungen, wie Leiterplattendesign und -simulation, 3D-IC, MEMS, gestapelte Wafer, Fehleranalyse und viele weitere. Der Gerätehersteller FRT GmbH präsentiert am Fraunhofer-Gemeinschaftsstand das Messgerät als neuestes Mitglied der MicroProf®-Serie.

Die Besonderheit des MicroProf® TL ist seine Thermoeinheit mit voll integrierter Heiz- und Kühlplatte. Der Temperaturbereich reicht von 10 °C (bzw. -80 °C bei Flüssigstickstoffkühlung) bis 400 °C, mit schnellen Aufheiz-/Kühlraten und gleichmäßiger Temperaturverteilung über die Probenoberfläche.


Zusätzlich zu den Topographiemessungen kann das System mit dem microDAC® TL, einem 2,5D-Deformationssensor der Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH, erweitert werden. Die hochpräzise Kameraeinstellung erlaubt es dem Anwender, globale und lokale Verformungsfelder mit einer Genauigkeit von bis zu 50 nm zu messen. Mit dem MicroProf® TL ist es daher möglich, sowohl die laterale als auch die vertikale Probenverformung unter thermischer Belastung mit höchster Messwertauflösung zu charakterisieren. Damit kann das Bauteilverhalten unter Arbeitsbedingungen bestimmt und verschiedene Prozessschritte simuliert werden.

Das Fraunhofer ENAS ist Referenzlabor und nutzt die gewonnenen Daten zur Überprüfung von Simulationen und zur Optimierung von Simulationsmodellen. Das Institut erstellt außerdem den Anforderungskatalog für die Messeinrichtung, die u.a. im EU-Projekt TRACE weiterentwickelt wird.

Der MicroProf® TL ist ein Beitrag des Fraunhofer ENAS im Rahmen der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland als passfähige und zuverlässige innovative Systemlösung, die mit Projektpartnern zusammen entwickelt wurde. Die ständig wachsende Komplexität mikroelektronischer Systeme stellt eine enorme Herausforderung an den Entwurf und die Fertigung dieser Systeme dar. Neue Anforderungen hinsichtlich Energieeffizienz, Leistungsfähigkeit, Baugröße und vor allem der Zuverlässigkeit der Mikrosysteme müssen von Beginn an berücksichtigt werden. Das Messgerät der MicroProf®-Serie unterstützt dabei die Bewertung von Zuverlässigkeit und Lebensdauer unter Berücksichtigung der Anforderungen aus Anwendungssicht.

Weitere Informationen zum MicroProf® TL finden Sie unter www.frtmetrology.com.

Über Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS

Die Fraunhofer-Gesellschaft ist die führende Organisation für angewandte Forschung in Europa. Unter ihrem Dach arbeiten 72 Institute und Forschungseinrichtungen an Standorten in ganz Deutschland. Mehr als 25 000 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter erzielen das jährliche Forschungsvolumen von 2,3 Milliarden Euro. Davon fallen knapp 2 Milliarden Euro auf den Leistungsbereich Vertragsforschung. Rund 70 Prozent dieses Leistungsbereichs erwirtschaftet die Fraunhofer-Gesellschaft mit Aufträgen aus der Industrie und mit öffentlich finanzierten Forschungsprojekten. Internationale Kooperationen mit exzellenten Forschungspartnern und innovativen Unternehmen weltweit sorgen für einen direkten Zugang zu den wichtigsten gegenwärtigen und zukünftigen Wissenschafts- und Wirtschaftsräumen.

Firmenkontakt und Herausgeber der Meldung:

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Technologie-Campus 3
09126 Chemnitz
Telefon: +49 (89) 1205-0
Telefax: +49 (89) 120575-31
http://www.enas.fraunhofer.de/

Ansprechpartner:
Andrea Messig-Wetzel
Marketing / PR
Telefon: +49 (371) 45001-204
Fax: +49 (371) 45001-304
E-Mail: andrea.messig-wetzel@enas.fraunhofer.de
Marcus Hildebrandt
Telefon: +49 (371) 45001-432
E-Mail: marcus.hildebrandt@enas.fraunhofer.de
Dr. Martina Vogel
Telefon: +49 (371) 45001-203
E-Mail: martina.vogel@enas.fraunhofer.de
Für die oben stehende Pressemitteilung ist allein der jeweils angegebene Herausgeber (siehe Firmenkontakt oben) verantwortlich. Dieser ist in der Regel auch Urheber des Pressetextes, sowie der angehängten Bild-, Ton-, Video-, Medien- und Informationsmaterialien. Die United News Network GmbH übernimmt keine Haftung für die Korrektheit oder Vollständigkeit der dargestellten Meldung. Auch bei Übertragungsfehlern oder anderen Störungen haftet sie nur im Fall von Vorsatz oder grober Fahrlässigkeit. Die Nutzung von hier archivierten Informationen zur Eigeninformation und redaktionellen Weiterverarbeitung ist in der Regel kostenfrei. Bitte klären Sie vor einer Weiterverwendung urheberrechtliche Fragen mit dem angegebenen Herausgeber. Eine systematische Speicherung dieser Daten sowie die Verwendung auch von Teilen dieses Datenbankwerks sind nur mit schriftlicher Genehmigung durch die United News Network GmbH gestattet.